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压力、温度和湿度集成传感器具有体积小、成本低和可批量生产等优点，在环境监测和工业控制等领域应用广泛。基于微机电系统（MEMS）技术，本文设计和制作了一种尺寸为5．5mm×3．5mm×0．8mm的高精度压力、温度和湿度集成传感器。该集成传感器由SU8真空粘合技术制作的铂压阻压力传感器，铂电阻温度传感器和电容式湿度传感器组成。介绍了该集成传感器的设计思想、结构和制备过程，给出了实验和测试方法。结果表明，压力传感器的精度优于0．05％；温度传感器的精度为0．3％；湿度集成传感器的量程为25％