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ＳＯＩ ＭＯＳＦＥＴ中存在着严重的自加热效应，对其直流特性有较大的影响，给出准确的自加热效应模型是精确模拟ＳＯＩ ＭＯＳＦＥＴ直流特性的基础。文中通过对自加热效应的分析，建立了ＳＯＩ ＭＯＳＦＥＴ的自加热效应模型，在此基础上给出了一个包含自加热效应的短沟道ＳＯＩ ＭＯＳ ＦＥＴ直流模型，并对该模型进行了验证。