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【摘 要】
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薄膜材料的选择及其膜层特性的研究,是光学薄膜技术的基础和前提。YF_3硬度较高,折射率较低,是优选的红外低折射率材料,但存在成膜后膜层的应力较大的缺陷.通过研究镀膜过程
【机 构】
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天津津航技术物理研究所,
【出 处】
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红外与激光工程
【发表日期】
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2006年S2期
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