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本文介绍用正交试验法来提高试验的效率,以迅速找到较佳条件。并采用电子扫描显微镜进行线槽的微结构研究,取得了一定的效果。
用扫描电镜研究腐蚀线条
【摘 要】
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本文介绍用正交试验法来提高试验的效率,以迅速找到较佳条件。并采用电子扫描显微镜进行线槽的微结构研究,取得了一定的效果。
【机 构】
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浙江大学,杭州大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1987年2期
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