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分析了微型机电系统的特点、主要科学技术问题、应用和市场。预计到2003年微小系统的市 场约为400亿美元，是商用航空业的一半。简介了我国的研究情况。国际上微型机电系统 技术刚走向全面发展，正是我国发展该领域的好时机。
微型机电系统
【摘 要】
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分析了微型机电系统的特点、主要科学技术问题、应用和市场。预计到2003年微小系统的市 场约为400亿美元，是商用航空业的一半。简介了我国的研究情况。国际上微型机电系统 技
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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2000年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助重大项目! ( 5 92 3 5 110 )
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