【摘 要】
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采用射频磁控共溅射法制备了纳米ＧａＡｓ－ＳｉＯ２镶嵌复合薄膜。通过Ｘ射线衍射、透射电镜观察和Ｘ射线光电子能谱等手段研究了薄膜的结构及其与沉积过程中基片温度间的关系。测量了薄膜的光致发
【机 构】
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汕头大学功能材料实验室!广东汕头515063
【基金项目】
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广东省自然科学基金,苏州大学薄膜材料开放实验室基金
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采用射频磁控共溅射法制备了纳米ＧａＡｓ－ＳｉＯ２镶嵌复合薄膜。通过Ｘ射线衍射、透射电镜观察和Ｘ射线光电子能谱等手段研究了薄膜的结构及其与沉积过程中基片温度间的关系。测量了薄膜的光致发光特性。表明，薄膜由晶态的ＧａＡｓ及非晶Ｓdisplay status两相组成，ＧａＡｓ在沉积过程中未明显氧化且以纳米颗粒形式均匀地弥散；ＧａＡｓ的平均粒径依赖于沉积时的基片温度。通过控制基片温度，成功地获得了ＧａＡｓ的平均粒径分
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