【摘 要】
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在使用光学平晶测量小工件的平面度时,如以激光作光源则其分辨率可达0.3μm左右。采用激光干涉方式的测量设备价格非常昂贵,通常是不用的。而且这些方式都要求工作的被测面
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在使用光学平晶测量小工件的平面度时,如以激光作光源则其分辨率可达0.3μm左右。采用激光干涉方式的测量设备价格非常昂贵,通常是不用的。而且这些方式都要求工作的被测面是镜面。在大型工件的测量方面则使用近年来已趋普及的三坐标测量机,大多是用接触式测头,即
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