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本文叙述了液态金属镓离子源的制做方法和特性研究。提出了一种可用于同轴发射组件中长钨丝针尖的新的挂镓工艺,该工艺在挂镓的同时还可检验挂镓效果的好坏。所研制源已成功地用于扫描离子显微镜,并获得亚微米分辨率;其工作寿命长达300多小时,尚可更生,继续使用。
液态金属镓离子源实验研究
【摘 要】
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本文叙述了液态金属镓离子源的制做方法和特性研究。提出了一种可用于同轴发射组件中长钨丝针尖的新的挂镓工艺,该工艺在挂镓的同时还可检验挂镓效果的好坏。所研制源已成功
【机 构】
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清华大学电子工程系,清华大学电子工程系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1991年4期
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