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应用多极场理论，研究了超大偏转角情况下的偏转像差，给出了应用十四极场做七级像差校正时的多极场表达式，计算在多种情况下十四极场对七级像差校正的影响，同时还分析了我极场像差校正的方法。
七级像差的多极场分析与校正
【摘 要】
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应用多极场理论，研究了超大偏转角情况下的偏转像差，给出了应用十四极场做七级像差校正时的多极场表达式，计算在多种情况下十四极场对七级像差校正的影响，同时还分析了我极场像差
【机 构】
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东南大学电子学研究所
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1996年2期
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