【摘 要】
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美国Tri Sigma公司的5轴定位系统配备有所谓“单点”精确光束传送装置。这种定位系统可作±190°旋转,或±90°倾斜旋转。在X、Y方向的行程为24in,在所有5个轴的定位精度皆
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美国Tri Sigma公司的5轴定位系统配备有所谓“单点”精确光束传送装置。这种定位系统可作±190°旋转,或±90°倾斜旋转。在X、Y方向的行程为24in,在所有5个轴的定位精度皆为±0.002in,X、Y和Z方向的分辨率为0.0001in,旋转和倾斜分辨率0.0015°,该
The 5-axis positioning system from Tri Sigma in the United States is equipped with a so-called “single point” precision beam delivery device. This positioning system can be used for ± 190 ° rotation, or ± 90 ° tilt rotation. With 24in stroke in X and Y directions, ± 0.002in in all 5 axes, 0.0001in in X, Y and Z directions and 0.0015 ° rotation and tilt resolution
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