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本文首镒采用了Ｒａｙｌｅｉｇｈ－Ｒｉｔｚ方法来分析微机中经常采用的多层膜结构定子的固有振动特性。研究了平面内应力和弯曲应力对固有频率的影响。模拟计算和实验结果符合得较好。此外还讨论了定子有关参数对固有频率的影响。
采用混合结构定子的压电超声微电机的固有频率特性分析
【摘 要】
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本文首镒采用了Ｒａｙｌｅｉｇｈ－Ｒｉｔｚ方法来分析微机中经常采用的多层膜结构定子的固有振动特性。研究了平面内应力和弯曲应力对固有频率的影响。模拟计算和实验结果符合得较好。此外还讨论了定子
【机 构】
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中国科学院上海冶金所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1997年3期
【基金项目】
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国家攀登计划!“微电子机械系统”资助项目
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