【摘 要】
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介电薄膜的相对介电常数是介电材料的重要表征参数之一。在表征未知材料之前，需要用已知材料——二氧化硅验证表征方法的准确性。针对这一问题，提取了两组不同长度硅基共面波导
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介电薄膜的相对介电常数是介电材料的重要表征参数之一。在表征未知材料之前，需要用已知材料——二氧化硅验证表征方法的准确性。针对这一问题，提取了两组不同长度硅基共面波导型传输线的S参数，基于保角映射原理，使用三种不同的方法，先得到器件的有效介电常数以及结构参数，然后表征得到介电薄膜的相对介电常数。结果表明：S21表征法的平均偏差约1.435%，单线表征法的平均偏差约为0.483%，双线表征法的平均偏差约为0.448%。因此，可以得出结论：三种方法均可以准确地表征相对介电常数。
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