【摘 要】
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鉴别电子显微镜性能好坏的主要指标是它的分辨本领。扫描电镜要达到高分辨本领关键在于电子光学系统必须使入射到样品上的电子束束斑直径尽可能小,而束流尽可能大。为得到优
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鉴别电子显微镜性能好坏的主要指标是它的分辨本领。扫描电镜要达到高分辨本领关键在于电子光学系统必须使入射到样品上的电子束束斑直径尽可能小,而束流尽可能大。为得到优于100(?)的分辨本领束斑直径只能有几十(?)。这样小的束斑一般是采用两极或三极磁透镜把电子枪的交叉斑缩小来得到。在这种多极磁透镜中,最重要的是最后一个透镜—物镜。
Identify the performance of electronic microscope is the main indicator of its ability to distinguish. Scanning electron microscope to achieve high resolution essentials is that the electron optical system must be incident on the sample electron beam spot diameter as small as possible, and the beam as large as possible. To get better than 100 (?) Resolution Beam diameter can only have dozens (?). Such a small beam spot is generally the use of bipolar or three-pole magnetic lens to cross the gun to narrow the cross to get. In this multi-pole magnetic lens, the most important thing is the last lens-objective.
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