对道纹不规则工件的表面光洁度测量原理的解释

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研磨、抛光或电火花方法加工后的工件,表面道纹非常混乱或呈粒状,没有一个可取的道纹方向。用于涉显微镜测定其光洁度较为困难,需要使用显微轮廓仪。所谓显微轮廓仪,它和干涉显微镜的区别仅在于用小型直视分光镜代替后者中的测微目镜。国产的6JA型干涉显微镜是附有直观分光镜的(但在某些书刊 Grinding, polishing or EDM processing of the workpiece, the surface of the track pattern is very chaotic or granular, there is no desirable direction of the track. It is more difficult to measure the finish of the microscope with a microscope, and a micro profiler is required. The so-called micro-profiler, it differs from the interference microscope only in the latter with a small direct-viewing spectroscope to replace the micrometer eyepiece. Domestic 6JA-type interference microscope is accompanied by a spectroscope (but in some books
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