水冷式光学温度计—高温非接触测量

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水冷式光探测器用于测量其附近的辐射体的温度。最初的设想是用来测量和控制硅晶生长炉中的硅片、弯月面、储存筒表面、加热器或其它元件的热度。敏感元件的端部是直径为1mm 的蓝宝石,把辐射量转递给具有同一直径的石英棒。石英 Water-cooled photodetectors are used to measure the temperature of the radiator in its vicinity. The original idea was to measure and control the heat of silicon wafers, meniscus, cartridge surfaces, heaters or other components in silicon growth furnaces. The tip of the sensitive element is a sapphire with a diameter of 1 mm, which transfers the radiation to quartz rods of the same diameter. quartz
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