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测量超低速度的多普勒测速仪
测量超低速度的多普勒测速仪
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rechen216
【摘 要】
:
<正> 一、概述固体的缓慢运动(如蠕变、温度变化引起的热伸缩过程等)的研究在工程研究中具有很重要的意义。许多缓变过程的速度会落在0.01μm/s~1mm/s之间,变形或移动量达几十
【作 者】
:
徐正奇
宋云峰
【机 构】
:
清华大学精仪系,清华大学精仪系
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
1993年1期
【关键词】
:
多普勒测速仪
速度
测量
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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<正> 一、概述固体的缓慢运动(如蠕变、温度变化引起的热伸缩过程等)的研究在工程研究中具有很重要的意义。许多缓变过程的速度会落在0.01μm/s~1mm/s之间,变形或移动量达几十微米。为此,需要一种非接触式、高精度、能覆盖上述速度范围的测量方法,用以测量超低速度或缓
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