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随着TFT-LCD技术的不断革新以及人们对终端产品,如电视、手机、笔记本、掌上电脑、车载等品质的要求越来越高,不断的追求高分辨率、高像素等,在实现以上高品质的过程中,因干法刻蚀良好的高精细加工能力以及较强的制程控制能力,使得干法刻蚀在TFT-LCD制造中的地位,显得越来越重要,本文主要针对干法刻蚀的原理以及工艺管控要点进行说明。