光学微电子机械系统:用于小尺寸器件的巨大可能性

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:woaini009
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诸如XYZ微型定位器、转动光栅和CD-ROM中的微聚焦透镜等的光机械部件都是许多光学系统必不可少的元件。XYZ微定位器用于对准光学系统;转动光栅和标准具用于改变可调谐激光器的波长;聚焦透镜总是运动的,目的是保持CD-ROM的聚焦和跟踪。遗憾的是,普通... Optomechanical components such as XYZ miniature positioners, rotating gratings and micro-focusing lenses in CD-ROMs are an essential element of many optical systems. The XYZ microlocator is used to align the optical system; the rotary grating and etalon are used to change the wavelength of the tunable laser; the focusing lens is always moving in order to maintain the focus and tracking of the CD-ROM. Unfortunately, ordinary ...
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