【摘 要】
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本文报导了以习用的Ga/AsCl_3/H_2体系制备GaAsFET多层结构的汽相外延生长技术。利用AsCl_3的克分子数效应,获得了最佳的缓冲层特性。以S_2Cl_2为掺杂剂,在一次工艺流程内完
【机 构】
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一四一三所,一四一三所,一四一三所,一四一三所
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本文报导了以习用的Ga/AsCl_3/H_2体系制备GaAsFET多层结构的汽相外延生长技术。利用AsCl_3的克分子数效应,获得了最佳的缓冲层特性。以S_2Cl_2为掺杂剂,在一次工艺流程内完成了多层结构n~+/n/n~-/SI的连续生长。研究了多层结构材料的性质及其质量的表征。 设计了四氟多体阀门,对提高系统的气密性,改善材料的质量收到了良好的效果。 在12GHz下,器件噪声系数的典型值为3.8db,相应增益7db;最佳值为3.16db,相应增益7.8db。
This paper reports the vapor phase epitaxial growth of GaAsFET multilayer structure using the conventional Ga / AsCl_3 / H_2 system. Using the molar effect of AsCl_3, the best buffer layer properties were obtained. With S_2Cl_2 as dopant, the continuous growth of multi-layer structure n ~ + / n / n ~ - / SI was completed in a single process. The properties of multilayer materials and the characterization of their quality were studied. PTFE multi-body design of the valve, to improve the gas tightness of the system to improve the quality of materials received good results. At 12GHz, the typical noise figure of the device is 3.8db, with a corresponding gain of 7db; the best value is 3.16db and the corresponding gain is 7.8db.
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