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在扫描隧道显微镜轮廓测量过程中，探针自身的几何形状会混入测量结果中，从而造成相应的测量误差。本文提出了根据对标准样品的测量结果，反算出探针的几何形状的算法，并应用于实没图像示解出探针的几何形状。在求得探针的几何形状后，文中推导了去除探针几何形状造成的误差，对扫描隧道显微镜图像进行重建的算法，并对实测样品进行了处理。结果表明上术坷有效地减少小探针自形状造成的测量误差。