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用EPMA-8705QH_1电子探针仪,对化学气相沉积法生长的小颗粒碳晶体进行了状态分析。分析结果表明,用化学气相沉积法生长金刚石薄膜的过程中,会产生不同形态的金刚石和石墨晶体,并发现金刚石和石墨的共生晶体。该发析方法不但能对每个μm量级晶体进行状态分析,而且还能对其表面形态进行观察,是小颗粒晶体状态分析和显微结构分析的有效方法。