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硅已成为半导体和集成电路的同义词,目前晶体管和集成电路除少量由砷化镓制造以外,绝大部分都由单晶硅加工而成。“硅谷”表示半导体和集成电路研制单位集中的地方,差不多已家喻户晓。人类对自然界的探索是永无止境的,半导体材料也不是仅仅限于硅和砷化镓等几种。最近美国国防部预研计划局、空军、一些公司和大学正在大力研究一种新的碳化硅(SiC)半导体。碳化硅是一种坚硬的材料,以前主要用作切削刀具、磨料和结构陶瓷。晶体结构的碳化硅用作半导体材料具有许多硅无法比拟的优点,因此引起了一些科学家和工程技术人员的重视。用碳化硅做半导