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0．2μm T形栅制作技术在100mm GaAs激光驱动电路芯片研制中获得了成功的应用．优化的栅制作工艺保证了形貌良好的栅线条，获得了优良的晶体管直流参数和高频性能．栅工艺重复性好，整片内器件性能均匀一致，确保了电路的成功研制．实际电路测试结果表明，在100mm GaAs片上制备的PHEMT驱动电路的芯片测试合格率达到70％以上，可靠性良好．