控制静压轴承间隙进行精密定位机构的设计(研制报告之三)

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<正> 1.前言在研制报告一、二中,已提出了应用静压轴承特性来制造精密定位机构的方案。报告论及了使用油为传动介质的方形断面静压轴承式精密定位机构,并分析了其定位精度、运动精度、动态特性以及温度干扰时的稳定性等问题。
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