GaAs薄膜电沉积机理的初探

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fly57384

【摘要】

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　本文叙述了电沉积制备GaAs薄膜的原理．我们在不同的基片上均成功地得到了成分接近化学计量比的GaAs薄膜．初步探讨了GaAs薄膜的电沉积机理． This article describes the princ

【作者】

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韩爱珍林逸青赵永春高元恺

【机构】

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哈尔滨工业大学!哈尔滨,150001,哈尔滨工业大学!哈尔滨,150001,哈尔滨工业大学!哈尔滨,150001,哈尔滨工业大学!哈尔滨,150001

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

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1997年05期

【关键词】

：

沉积机理电沉积工艺化学计量比标准电极电位电共沉积析出电位电池材料电流密度阴极表面抗辐射能力

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　本文叙述了电沉积制备GaAs薄膜的原理．我们在不同的基片上均成功地得到了成分接近化学计量比的GaAs薄膜．初步探讨了GaAs薄膜的电沉积机理． This article describes the principle of GaAs thin film electrodeposition. We have successfully obtained GaAs films with stoichiometry ratios on different substrates. Electrodeposition mechanism of GaAs thin film was discussed preliminarily.

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