【摘 要】
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采用ＫＯＨ：Ｈ２Ｏ的湿法化学腐蚀Ｓｉ｛１００｝晶片获得了球面轮廓曲线十分好的微透镜，透镜直径可从几个微米到几个毫米，焦距和孔径之比ｆ／Ｄ可以从２．５到１０以上。文章给出了微透镜及列阵的实验测试结果和若干显微照
【机 构】
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重庆大学光机系,电子工业部２４研究所
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采用ＫＯＨ：Ｈ２Ｏ的湿法化学腐蚀Ｓｉ｛１００｝晶片获得了球面轮廓曲线十分好的微透镜，透镜直径可从几个微米到几个毫米，焦距和孔径之比ｆ／Ｄ可以从２．５到１０以上。文章给出了微透镜及列阵的实验测试结果和若干显微照片，对其设计与制造建立了半经验理论模型。最后，对球面的形成原理及异常焦斑形状作了讨论。
Wet chemical etching of Si {100} wafers with KOH: H 2 O results in very good spherical profile microlenses with lens diameters ranging from a few microns to a few millimeters with a ratio of focal length to aperture f / D of 2.5 To 10 or more. In this paper, experimental results and some micrographs of microlenses and arrays are given, and a semi-empirical theoretical model is established for their design and manufacture. Finally, the formation principle of spherical and abnormal focal spot shape are discussed.
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