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【摘 要】
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Hydrogenated doped silicon thin films deposited using RF (13.56 MHz) PECVD were studied in detail using micro Raman spectroscopy to investigate the impact of do
【机 构】
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SolarEnergyResearchInstituteofSingapore,SolarEnergyResearchInstituteofSingapore,DepartmentofElectric
【出 处】
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材料科学与化学工程(英文)
【发表日期】
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2013年5期
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