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分析了恒压源供电和恒流源供电两种情况下扩散硅压力传感器的灵敏度随温度变化的关系式,提出了用软件补偿其热灵敏度漂移的计算方法,并且就恒流源供电且灵敏度温度系数大于零的情况,推出了用并联电阻补偿热灵敏度漂移时,并联电阻阻值的计算公式,模拟结果表明补偿效果非常显著.
扩散硅压力传感器热灵敏度漂移补偿方法的研究
【摘 要】
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分析了恒压源供电和恒流源供电两种情况下扩散硅压力传感器的灵敏度随温度变化的关系式,提出了用软件补偿其热灵敏度漂移的计算方法,并且就恒流源供电且灵敏度温度系数大于零
【机 构】
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西安交通大学,南京师范大学,兰州炼油化工仪表厂
【出 处】
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仪器仪表标准化与计量
【发表日期】
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2005年3期
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