【摘 要】
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本文介绍一种白光干涉技术测量透明薄膜厚度的方法.建立白光干涉的理论模型,基于非线性拟合算法,利用较完善的模型库拟合实测得到的干涉信号,解算出待测透明薄膜的厚度.膜厚
【机 构】
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深圳中科飞测科技股份有限公司,广东深圳 518000;深圳中科飞测科技股份有限公司,广东深圳 518000;深圳中科飞测科技股份有限公司,广东深圳 518000;深圳中科飞测科技股份有限公司,广东深圳
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本文介绍一种白光干涉技术测量透明薄膜厚度的方法.建立白光干涉的理论模型,基于非线性拟合算法,利用较完善的模型库拟合实测得到的干涉信号,解算出待测透明薄膜的厚度.膜厚测量系统是基于Mirau干涉物镜的白光干涉系统,在垂直于待测片表面方向扫描,获取干涉信号;同样,理论模型也通过扫描干涉仪的光程差来获取透明膜层的信息.此外,理论模型还在一定范围内对光束的入射角、波长等参数进行非相干叠加,从而更加完善模型.
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