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采用MEMS技术设计了一种微型半填充气相色谱柱，运用深反应离子刻蚀（DRIE）技术，对器件刻蚀深250μm，其微型色谱柱总长度为1m，宽度为160μm，槽道内部填充20μm×20μm微型柱。采用静态涂覆法对色谱柱涂覆sE-54固定相。通过理论模拟分析柱结构，得出微型半填充色谱柱具有高分离效率能力。在对酯类化合物分离测试中，选取了含酯类的化学战剂模拟剂和几种酯类食品添加剂，分别对其进行分离，所有组分在75s内被完全分离。实现了微型半填充色谱柱快速并具有高分离率。