【摘 要】
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综述了薄膜热电偶的国内外研究进展与热点,对近年来薄膜热电偶在各领域的典型应用结果进行了总结.重点阐述了薄膜热电偶的敏感材料种类、制备工艺对其热电性能和高温稳定性的
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;北华航天工业学院电子与控制工程学院,河北廊坊065000
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综述了薄膜热电偶的国内外研究进展与热点,对近年来薄膜热电偶在各领域的典型应用结果进行了总结.重点阐述了薄膜热电偶的敏感材料种类、制备工艺对其热电性能和高温稳定性的影响,讨论了国内外研究中退火环境、氮气含量、材料掺杂水平等工艺参数及喷涂处理、丝网印刷等新兴制备方法对薄膜热电偶热电性能的影响,对目前薄膜热电偶测试校准技术的研究现状进行了简单阐述.最后,指出薄膜热电偶当前亟需研究的问题,并对该领域的未来发展方向进行了展望,可为应用于恶劣环境的高温薄膜传感器的技术研究提供参考.
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