【摘 要】
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针对离子渗氮层薄、硬、脆的特点,提出了三种渗氮层TEM 薄膜样品制备方法,均可获得满意的结果.此方法亦可适用于其它化学热处理表层的薄膜样品制备.
Aiming at the characte
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针对离子渗氮层薄、硬、脆的特点,提出了三种渗氮层TEM 薄膜样品制备方法,均可获得满意的结果.此方法亦可适用于其它化学热处理表层的薄膜样品制备.
Aiming at the characteristics of thin, hard and brittle ion nitriding layer, three methods of preparing nitrided TEM film samples are proposed, and the results are satisfactory. This method is also applicable to the thin film samples prepared by other chemical heat treatment.
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