【摘 要】
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目标的准确对准中,如在掩模同涂了光致抗蚀剂且其上有器件图形的半导体片子的对准中。由于操作者的偏差往往会产生对不准。该偏差标明在图1、2中,并且是操作者对所出现的一
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目标的准确对准中,如在掩模同涂了光致抗蚀剂且其上有器件图形的半导体片子的对准中。由于操作者的偏差往往会产生对不准。该偏差标明在图1、2中,并且是操作者对所出现的一系列图像辨别的
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在研究“结温老化”的优缺点后,肯定此方法不能直接用作组件筛选,必须改进。本文在此基础上提出新的“接温老化”方法。经实验证明,使用“接温老化”可显著提高组件可靠性,并
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