非接触光刻光栅的光学系统设计

来源 :长春光学精密机械学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xuerscc
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人所共知,利用多点光源可降低衍射效应.对于制作光栅,可用多线光源代替多点光源.本文描述了产生多线光源的方式,并进行了光学系统的结构设计.最后,给出了实验结果. It is well known that the multi-point light source can reduce the diffraction effect, and the multi-line light source can be used to replace the multi-point light source for fabricating a grating.A method for generating a multi-line light source is described and the optical system structure is designed. The experimental results.
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