【摘 要】
：
近来,关于浸没式光刻的讨论很多,不过它们大多集中在缺陷率和套刻精度上,而很少涉及到浸没式技术怎样使光刻机供应商具备设计与制造超高数值孔径镜头的能力,而这曾被认为是不
【机 构】
：
Nikon Precision Inc.,Nikon Precision Inc.,Nikon Precision Inc.,
论文部分内容阅读
近来,关于浸没式光刻的讨论很多,不过它们大多集中在缺陷率和套刻精度上,而很少涉及到浸没式技术怎样使光刻机供应商具备设计与制造超高数值孔径镜头的能力,而这曾被认为是不可能实现的。尽管理论上折射式镜头能够扩展到很高的NA,但是由于受到材料和光刻机尺寸的限制,这种扩展并不现实。因此,要想研制超高NA的下一代镜头,必须采用截然不同的镜头设计。
Recently, there has been much discussion about immersion lithography, but most of them focus on defect rates and overlay accuracy, and seldom concern how submerged technology enables lithographer suppliers the ability to design and manufacture ultra-high numerical aperture lenses , Which was considered impossible to achieve. Although in theory refractive lenses can be extended to very high NA, this expansion is impractical due to the size constraints of materials and lithography machines. Therefore, in order to develop the next generation of ultra-high NA lens, you must use a completely different lens design.
其他文献
1956年,21岁的青年作家王蒙写作并发表了改变他一生命运的短篇小说——《组织部新来的年轻人》。这篇小说,发表在当时最具权威性和影响力的文学杂志、由中国作家协会主办的《
配气凸轮的种类与型号很多,就其对称性而言,有对称型与不对称型两类。要想尽可能真实地描绘出实际轮廓的理想桃尖位置,无论对称与否,首要的是使其包容区域符合最小条件。笔
车加工轴类零件时,我们设计了自拔顶尖。实践证明,既能缩短工件安装和夹紧时间,减轻劳动强度,又能保证轴类加工的形位公差技术要求,取得较为满意的效果。
When machining t
德意志联邦共和国斯图嘉特大学塑性加工研究所的库尔特·朗格博士(Dr·Kurt Lange)是世界著名的塑性加工权威,他对锻造这门科学技术的贡献,早为海内外同行所称道和推崇。早
随着人类科学技术的发展,邮票的设计日渐精美与丰富多彩。 1.铝制邮票 1955年匈牙利首先发行了一种铝制航空邮票,用千分之八厘米厚的薄铝粘贴在邮票上制成第一张金属邮票。
机械位移数字显示装置(简称数显)是一种能准确地自动显示机械位移量的检测装置。它具有较高的测量精度,并在提高劳动生产率、保证加工质量、降低成本、改革产品结构和减轻工
东德的Klaus Baumeister公司已制造出新一代的连续式线材退火炉。其目的在于可经济地使用能源、保证热在线材上传递稳定、供热可调性、向外散热少、废气量少,能采用各种气体
当今世界瞬息万变,特别是在高科技领域。很多企业领袖和主要工程技术人员面对排山倒海的从世界各个角落传出的大量信息感到十分困惑,面对企业在未来市场中的走向失去了以往那
随着我国科技事业的发展以及在国际上的交流与合作的日益扩大,科技期刊事业有了巨大的进步.目前,我国向国内外公开发行的期刊已达3700多种,其中已有1000余种向国际发行和交
建立会计核算中心,对行政事业单位进行会计集中核算,是推进财政体制改革与实行会计委派制工作的一项重要举措。会计集中核算充分发挥集中核算的功能和优势,在加强单位日常管