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本文着重分析了ITO靶坯的各个干燥过程，以及干燥介质的温度、湿度、流量和流速还有使用的辅具对靶坯干燥的影响，并提出了提高干燥效率的方法。实验证明高湿高温的干燥介质条件有利于ITO靶坯的干燥质量和效率。
ITO靶材坯体干燥技术探讨
【摘 要】
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本文着重分析了ITO靶坯的各个干燥过程，以及干燥介质的温度、湿度、流量和流速还有使用的辅具对靶坯干燥的影响，并提出了提高干燥效率的方法。实验证明高湿高温的干燥介质条件
【机 构】
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广东凯盛光伏技术研究院有限公司
【出 处】
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中国玻璃
【发表日期】
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2018年3期
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