【摘 要】
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为了对薄膜进行无损的缺陷检测,采用了谱域光学相干层析成像的方法,进行了理论分析和实验验证,分别获得了质量完好和存在缺陷两种薄膜样品的一维深度和二维层析图像。由二维
【机 构】
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渭南师范学院物理与电气工程学院,陕西省X射线检测与应用研究开发中心,
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为了对薄膜进行无损的缺陷检测,采用了谱域光学相干层析成像的方法,进行了理论分析和实验验证,分别获得了质量完好和存在缺陷两种薄膜样品的一维深度和二维层析图像。由二维层析图像可以对薄膜的缺陷位置进行精确定位,并且可以对缺陷尺寸进行测量。实验结果表明,谱域光学相干层析成像技术可以为无损缺陷检测提供有效的技术手段。
In order to detect the non-destructive defects of the films, a method of optical coherence tomography in the spectral domain was adopted, and theoretical analysis and experimental verification were carried out. One-dimensional depth and two-dimensional tomography image. From the two-dimensional tomographic images, the defect location of the film can be accurately located, and the defect size can be measured. The experimental results show that spectral optical coherence tomography can provide an effective technical measure for the detection of non-destructive defects.
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