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综合了已有的真空微电子器件理论的研究成果，提出了真空微电子三极管优化模型，并且进行了初步计算，得到了真空微电子三极管优化模型的理论特性，同时，利用独创的无版光刻工艺制作了真空微电子三极管，进行了测试，并且与结果进行了比较。
真空微电子管的研究
【摘 要】
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综合了已有的真空微电子器件理论的研究成果，提出了真空微电子三极管优化模型，并且进行了初步计算，得到了真空微电子三极管优化模型的理论特性，同时，利用独创的无版光刻工艺制作了
【机 构】
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西安交通大学真空微电子与微电子机械研究所
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1996年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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