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提出了一种利用声表面波（ＳＡＷ）器件构成的新型高精度表面粗糙度传感器的设计方案，分析研究了它的工作原理、信号处理方法和动态静态特性。研究结果表明：它除了具有电感式表面粗糙度传感器的主要优点外，还具有灵敏度高、对外界温度和振动干扰不敏感、信号数字量输出等特点。当声表面波振荡器（ＳＡＷＯ）的中心频率为４０ＭＨｚ时，传感器可以得到１０ｋＨｚ／μｍ的位移灵敏度。