【摘 要】
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通过几何投影计算出不同入射角下相应的沟道面,用离子束辅助沉积在硅衬底上生长氧化钛薄膜.通过改变入射离子束的束流密度、入射角、离子质量及衬底温度等参数,获得的氧化钛
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
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中国科学院上海冶金研究所 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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通过几何投影计算出不同入射角下相应的沟道面,用离子束辅助沉积在硅衬底上生长氧化钛薄膜.通过改变入射离子束的束流密度、入射角、离子质量及衬底温度等参数,获得的氧化钛薄膜呈金红石结构,且大多具有(200)择优取向.用沟道效应、表面能、应变能等进行了初步解释.氧化钛薄膜具有优异的血液相容性,但从在人体内长期工作的要求.因此基于安全性考虑,该论文主要研究了热解碳与钛合金材料的离子注入处理及血液相容性评价.对热解碳材料进行了常规氮离子注入和等离子体浸没式离子注入处理.用不同能量和剂量的氮离子对钛合金进行了注入处理.对离子注入处理前后的热解碳样品作了血液相容性评价.结果表明,热解碳经氮离子注入后,表面会吸附较多的白蛋白和较少的纤维蛋白原,而且血小板粘附数目减少,较少团簇和变形,优于未处理的热解碳.通过接触角测试,计算出材料的表面能以及与蛋白质之间的界面力.我们发现除个别情形外,注入后热解碳材料表面能变小,色散分量增大、极化分量减小;样品表面与HSA、HFG间的界面力有很大提高,γs,HSA/γs,HFG比值增大;蛋白吸附的"脱附力"减小;样品的疏水性增加.这些因素决定了注入后热解碳材料血液相容性的改善.
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