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真空微电子学是八十年代后期才发展起来的一门新兴学科,真空微电子器件兼有电真空器件和微电子器件的优点,在场发射平面显示器、微波、毫米波器件和传感器等领域有着重要的应用前景.该学位论文的研究对象是真空微电子器件的核心部件--场致发射阵列阴极(FEA),其内容包括场致发射的基础理论研究、计算机模拟计算以及金刚石薄膜场发射和硅场致发射阵列阴极的实验研究.