【摘 要】
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该文对等倾干涉理论进行了深入研究和分析,采用CCD探测技术,把干涉系统和计算机结合起来完成了等倾干涉图像的实时采集和自动数据处理,以实现对长平晶和大口径圆平晶的面形自
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该文对等倾干涉理论进行了深入研究和分析,采用CCD探测技术,把干涉系统和计算机结合起来完成了等倾干涉图像的实时采集和自动数据处理,以实现对长平晶和大口径圆平晶的面形自动检测.研究的目的是迫切要解决现有人工目视测量技术强度大、精度不高、效率低等问题,把等倾干涉测试技术提高到一个新的水平.该文对目前国内外的平晶面形测量现状作了概略的叙述,并对不同测量方法进行了比较,从而建立适合等倾干涉图像处理的数学模型,并编制了干涉图处理软件,完成了干涉图的现场实时采集、存储,可进行图像的预处理和干涉图处理.该软件界面友好,功能完备,操作简便.该文完成了CCD帧累积探测实验,实现了等倾干涉系统图像实时采集的系统装置.对等倾干涉图像采集数据进行了精度分析,并通过实验得到验证.实验结果表明,该系统达到了λ/72的面形测量精度.
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