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高技术产业凭借其高知识、高技术、高创新等特点,在信息技术和知识经济时代对区域技术进步起着一定的促进作用。广东凭借其得天独厚的人力、物力资源和区位、政策优势迅速形成以广州、深圳为中心,珠三角为高技术产业带的发展格局,其产值规模、创新能力在全国处于领先地位,并已形成一定的产业集聚。产业集聚对高技术产业的影响主要通过三种外部性进行:第一种为MAR(专业化)外部性,来源于同一产业中企业间的影响;第二种为JACOBS(多样化)外部性,来源于不同产业中企业间的相互影响;第三种为PORTER(竞争)外部性,来源于同一产业中企业竞争所带来的影响。这三种外部性对高技术产业增长的作用机制主要有成本效率机制、人员流动机制、交流机制、合作协同机制、企业衍生机制和竞争机制。其中前四种机制主要存在于MAR外部性和JACOBS外部性当中,企业衍生机制主要存在于MAR外部性当中,竞争机制主要存在于PORTER外部性当中。在理论分析的基础上,全面描述了珠三角高技术产业发展和集聚现状,并基于前人的研究测算了各外部性指标的大小,运用面板数据回归探究不同产业集聚所带来的外部性与产业增长是否存在非线性关系以及其对各产业经济增长的影响程度,发现高技术产业各行业的专业化外部性与产业增长存在倒“U”型的非线性关系。医药制造业的多样化外部性与产业增长存在不明显的“U”型关系,电子信息产业和仪器仪表及文化、办公设备制造业的多样化外部性与产业增长存在明显的“U”型关系。即在短期内,专业化集聚是产业增长的关键因素,长期则更偏向于多样化集聚。三类高技术产业的竞争外部性显著为负,说明竞争对产业增长起到一定的抑制作用。然后就实证结果并根据各产业实际情况给出原因分析,最后从政府维度、产业维度和企业维度对珠三角高技术产业发展提出相关建议。