【摘 要】
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硬质防护镀层对于改善材料的耐磨性、提高耐用度,效果十分明显.研究最为深入的TiC和TiN镀层在工程实际中也获得了最为广泛的应用.但TiC比较脆,且高温硬度较差;TiN作为硬质镀
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硬质防护镀层对于改善材料的耐磨性、提高耐用度,效果十分明显.研究最为深入的TiC和TiN镀层在工程实际中也获得了最为广泛的应用.但TiC比较脆,且高温硬度较差;TiN作为硬质镀层,硬度还显得稍低;而且由于氧化问题,它们都难于在超过550℃的工作环境 中使用.在真空电弧离子镀设备上沉积了Ti(C、N)复合镀层和(Ti、Al)N复合镀层,研究了 气体流量、基体偏压及压力等沉积参数对薄膜化学成分、微观结构(相组成、织构取向、晶 粒度、致密性等)、力学性能(硬度、膜基结合强度、摩擦磨损性能等)的影响,从复合薄膜 的微观结构出发,对表现出的性能进行了探讨说明.
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