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激光晶体在机械加工过程中不可避免地形成表面和亚表面损伤,对器件性能、使用寿命等具有至关重要的影响。相较于研磨加工工艺,抛光加工使材料的损伤逐渐减少至极其微量的程度,最终残留的损伤将伴随材料的使用全周期。因此研究抛光阶段表面完整性的变化过程对掌握抛光的工艺质量十分必要。但对表面完整性的检测尤其是对亚表面损伤的检测难度高。针对这一问题,本文以钆镓石榴石激光晶体为研究对象,采用椭圆偏振技术,根据准布鲁斯特角法测量原理,对不同抛光阶段不同工艺下样品表面完整性的变化进行了实验研究。通过与白光干涉仪和原子力显微