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针尖增强拉曼光谱技术(TERS)作为纳米新材料分析领域内的重要部分,具有丰富的应用场景和巨大的研究潜力。其同时具有表面增强拉曼光谱技术(SERS)和近场光学的优势,通过纳米尺度针尖对拉曼散射信号的增强并获得样品表面形貌信息和近场光谱信息。其中形貌信息依赖SPM控制系统性能,光谱信息分辨率突破光学衍射极限、探测灵敏度较高。为了进一步开展TERS的实验和研究,本文旨在设计搭建一套完整的针尖增强拉曼光谱检测系统。将微区拉曼光谱技术与音叉式AFM技术联用,通过对TERS系统关键技术的研究,优化系统结构、入射