纳米尺度上近场检测及电子束加工的实验研究

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该论文以扫描探针与样品表面间微区作用为引线,对剪切力控制的扫描近场光学显微镜中针尖与样品间的剪切力作用的有关问题,和扫描隧道显微镜利用针尖-样品的复杂相互作用进行的纳米加工的有关问题进行了实验研究.论文主要分为两部分:一、有关扫描近场光学为微镜近场控制部分的研制和实验工作;二、有关利用扫描隧道显微镜进行纳米加工的研究.
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