电液伺服阀叠合量气动测量系统研究

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电液伺服系统目前广泛应用于航天、航海、机器人等领域,其中的核心零部件是电液伺服阀,电液伺服阀的性能直接影响到电液伺服系统的品质。在电液伺服阀中,滑阀被用于功率放大,它由阀芯和阀套组成。阀芯和阀套的轴向配合尺寸的加工是电液伺服阀加工中的关键工序,通常用叠合量来表征这种配合尺寸。工艺上一般是为滑阀设计一个2~4μm的微小正叠合量,公差要求为±0.5μm。显然,准确测量滑阀叠合量成为加工其配磨尺寸的必要前提。  目前伺服阀叠合量测量技术在测量精度和自动化程度方面存在不足,本文研究目的在于提高电液伺服阀叠合量的测量效率,实现测量过程的全自动化,同时满足叠合量测量精度需求。为了提高系统的自动化程度,从气路设计、机械结构、控制方案等方面提出了一系列策略,重点分析了电液伺服阀气动测量原理及特点,从阀口流量特性出发,提出了压力式和流量式相结合的叠合量气动测量方法,也即压力式气动测量方法用于测量准备阶段的阀芯自动对中,流量式气动测量方法用于测量阶段的叠合量精确测量;在叠合量计算方面,为提高大流量电液伺服阀叠合量计算精度,应用ANSYS Fluent流体仿真技术对阀口小开口情况进行仿真,验证阀口小开口下流量特性曲线的非线性;提出了一种不需要根据实际测量工况进行修正的叠合量算法。  研制了一套电液伺服阀叠合量气动测量台,交付给用户使用已有一年多时间。通过实验和工程实践验证,该测量系统的叠合量测量精度达到±0.5μm,且重复精度达到±0.5μm,实现了电液伺服阀叠合量的全自动化测量,满足了电液伺服阀叠合量测量的精度和效率需求。
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