【摘 要】
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为了实现微机器人系统中的高精度的位移测量,该文提出了一种基于开关电容技术的微位移感器,具有精度高、稳定性好、结构简单、成本低、便于集成等特点.该文对所提出的具有杂
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为了实现微机器人系统中的高精度的位移测量,该文提出了一种基于开关电容技术的微位移感器,具有精度高、稳定性好、结构简单、成本低、便于集成等特点.该文对所提出的具有杂散电容抑制能力的开关电容测量电路的原理进行了详细的介绍和分析,并利用电荷充放电原理建立了电路的数学模型,给出了系统的传递函数.分析表明该电路具有杂散电容抑制的能力,并且对各种噪声都不敏感.由于电路本身采用连续自动标定,大大降代了杂散电容的影响.对于电路的低频干扰,采用一个一阶和一个二阶高通滤波器绷联形成一个三阶高通滤波器进行处理,可以滤除包括1/f噪声在内在几乎所有低频噪声.对于高频干扰,则采用低通滤波或伪噪声技术进行抑制.电容测量电路的温漂会导致电路灵敏度变化,稳定性和重复性精度变差,该文采用一种温度系数可调的基准电压源补偿电路的温漂.
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