【摘 要】
：
硅锗器件具有异质结结构,能够大大提高载流子迁移率;且在工艺上与硅器件相容.作者所前年研制出了国内的第一批硅锗MOSFET,在其设计与工艺基础上对硅锗MOSFET,特别是NMOSFET的
论文部分内容阅读
硅锗器件具有异质结结构,能够大大提高载流子迁移率;且在工艺上与硅器件相容.作者所前年研制出了国内的第一批硅锗MOSFET,在其设计与工艺基础上对硅锗MOSFET,特别是NMOSFET的制作进行了进一步的研究,并成功试制出了有较理想特性的的硅锗PMOSFET和NMOSFET.首先在文献阅读的基础上,分析了硅锗超晶格的应变及其对能带结构的影响,提出 了应变硅锗层、应变Si层中的载流子传输特性模型.在了解硅锗MOSFET的基本纵向结构的基础上,分析了硅锗MOSFET的结构参数对其电学性能的影响,并以此为依据设计出了硅锗MOSFET器件结构.利用作者所研制的HV/CVD设备,按照所设计的结构生长了硅锗材料,并对其进行了双晶衍射测试,Raman测试和透射电镜测试,以测定材料的锗组分x和不同材料层的厚度.根据实际测得的结构参数,使用SILVACO进行了结构模拟,得出了沟道区的能带图和载流 子浓度分布图,并对器件的输入输出特性进行了模拟,提取了开启电压、电子迁移率等重要参数.
其他文献
该文对阻抗尖劈电磁散射特性,面向对象系统设计在电磁散射计算系统中的应用进行了深入、细致的研究.首先,简单介绍了面向对象系统设计的基本思想,类、对象、方法、消息等基本
随着经济和人口的快速增长，生活污水和工业废水大量排入水体，高密度养殖等现状导致养殖水体富营养化日益严重，由此引起的低氧问题已成为制约水产养殖可持续发展的主要因素之一。
该论文围绕高质量SiC和AlN薄膜的的制备与物理性质的研究,并结合全国自然科学基金项目、上海市启明星计划项目以及与瑞典皇家工学院的国际合作项目的要求,开展了脉冲激光沉积
化学是一门以实验为基础的学科。而化学实验则是化学学科的灵魂，化学实验仅是学生获取直观信息、认识化学世界的窗口，而且是帮助学生认识化学规律、形成化学概念、理解和巩固化
随着信息技术的蓬勃发展，速率和能耗日益成为信息系统发展的关键技术瓶颈。将光子学与微波技术相互融合的微波光子学因兼有光子技术损耗低、重量轻、带宽大、抗电磁干扰、信号
该论文结俣机载预警天线工程的实际需要,对超低副瓣相控阵天线综合与量化问题进行研究,主要贡献包括:改进了天线阵约束非线性最估化综合方法;建立了适用于超低副瓣阵列天线设
利用滤食性鱼类控制水体中的蓝藻水华被认为是能有效的控制水体蓝藻爆发的手段。这种手段在湖泊实践中被称为“非经典生物操纵”。鲢、鳙是典型的滤食性鱼类，主要摄食水体中的
自古以来,古筝就深受人们喜爱,现在学习古筝的人也越来越多,传统的教学方法已经难以满足现代社会的发展需要,所以紧跟时代的步伐,优化古筝教学是非常有必要的.古筝是中国古代
本文主要讨论了两个问题：一是电弧炉系统的谐波分析，一是采用有源滤波器对电弧炉系统进行谐波检测及抑制的仿真。 由于交流电弧炉是一种不平衡的、非线性时变负载，它产生与电压闪变有关的不平衡、谐波和分数谐波，所有这些就需要一种非线性、不对称的动态u—i特性的电弧炉模型。由于这种模型的复杂性，所以很多人都致力于建立时域模型，而频域模型很少受到注意。本文采用一种频域电弧炉模型，对电弧炉的谐波和分数谐波进